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| substrat cible | MAX. L150×L150 (mm) |
| MIN. L50×L50 (mm) | |
| hauteur de pièce | Supérieur 10,15,20,25mm |
| Inférieur 10,15,20,25mm | |
| Table de travail | 3 millimètres |
| Source d'alimentation en gaz N2 | Au-dessus de 99,99 % 0,4 ~ 0,7 Mpa |
| Au-dessus de 150NL/min | |
| Hauteur de transport du substrat (ligne de laminage) | 900±20mm |
| Dimensions | L1210×L2200※1×H1370※2 (mm) |
| Poids total | Environ 600 kg |
| Vitesse de livraison | 0.1~0.7m/minute |